二手 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #118737 待售

TEL/TOKYO ELECTRON MARK 7光抗蝕劑設備是一種針對半導體行業先進應用的綜合性光抗蝕劑塗層和開發解決方案。該系統由四個不同的組成部分組成，每個組成部分共同提供一流的過程控制、精度和精確度。TEL MARK7光刻塗層模塊是該單元的第一個組件。由於它有兩個獨立的塗層頭和強大的抽油機，它能夠實現精確、可重復和均勻的薄膜塗層。其精確的送力分散輥確保了增強的塗層性能，並允許塗層具有高分子量的抗蝕劑。TEL PMS-003 Intelligent Dispensing Unit進一步優化了標記7塗層模塊的性能。該工具的第二個組件是TOKYO ELECTRON Pattern Generating Module。此模塊利用了最先進的直接寫入光束轉向機構,從而可以生成各種陣列形狀和大小。該模塊還具有允許數據從一個抵抗資產傳輸到另一個抵抗資產的附加便利性,從而使用戶能夠輕松地跨多個項目重新創建復雜的模式。TOKYO ELECTRON MARK-7模型的第三個和第四個組件結合起來，提供了自動抵抗開發。TOKYO ELECTRON MARK7 Resist Development/Inspection Unit提供了由集成視覺檢查模塊形成和掃描的抗蝕劑圖樣的實時成像。檢查模塊可用於自動檢測抵抗模式缺陷,從而能夠立即采取糾正措施。此外，抵抗發展/檢查組配備了基於超聲波的清潔設備，提高了抵抗模式完成的準確性和清晰度。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 Photoresist System是一種強大的工具，可實現卓越的工藝控制、精度和精確度。它的四個組件協同工作，提供無與倫比的光阻塗層和開發解決方案，使先進的半導體應用成為可能。