二手 DNS / DAINIPPON LA-3000F #9009841 待售

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DNS / DAINIPPON LA-3000F
已售出
ID: 9009841
晶圓大小: 12"
Lamp anneal system, 12".
DNS/DAINIPPON LA-3000F是一種先進的快速熱處理器,專為高速、低成本的半導體晶片熱處理而設計。它配備了陶瓷電子束源,先進的溫度控制,以及整個晶圓表面精確的溫度均勻性。DNS LA-3000F中使用的電子束(E-Beam)源設計用於低漂移和視線照明的高速處理。該裝置還具有一個石英光捕集器和一個移溫室,以提高溫度均勻性和可靠性。它使用了比大多數其他快速熱處理器更強大的加熱元件和更大的腔室。這樣就產生了快速的溫度上升速率和快速的傳熱,從而在整個晶片表面均勻加熱。DAINIPPON LA-3000F配備了先進的溫度控制器,以0.1°C的增量提供從50°C到1100°C的精確溫度控制。它還配備了一個高精度的均勻性傳感器,實時監控整個晶圓表面的溫度,並相應調整溫度。這樣可以確保晶片在一定的公差範圍內均勻加熱和冷卻。此外,該設備包括一個快速圖表記錄器,它可以記錄溫度在長達一秒的間隔。LA-3000F包括若幹確保可靠和高效操作的安全功能。它的石英光捕集器和散熱器平衡室消除了由E-Beam產生的雜散光子和熱不平衡。它還具有自動恢復系統,可恢復在處理過程中中斷的配方。最後,其陶瓷晶片載體確保了晶片的精確對準,而石英窗則確保了爆炸的安全。DNS/DAINIPPON LA-3000F是半導體晶片快速熱處理的理想設備,是許多先進制造工廠的重要組成部分。它提供精確的溫度控制、快速的傳熱、先進的安全特性以及改進的均勻性,以優化性能。它是高速、低成本熱處理的理想選擇。
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