二手 MPT RTP-600XP #9027274 待售

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ID: 9027274
晶圓大小: 2"-6"
優質的: 2004
Rapid thermal processor, 2"-6" Applications: RTA, Annealing, Implant Activation, Oxidation & Reflow Thermal processing: Si, Ge, Si/Ge, GaAs, InP and Other semiconductor materials Temperature range rate: 250-1300°C Temperature ramp rate: 1-200°C/sec Quartz process chamber, Capable of handling inert and Reactive gases Dual color pyrometer with Auto-Calibration feature (2) MFC Controlled gas channels; Upgradeable to 6 channels Integrated Windows NT based pentium processor Software revision 3.10 208 V, 60 Hz, 3-Ph, 80 A 2004 vintage.
MPT RTP-600XP是一種快速散熱處理器(RTP),旨在處理各行業中各種散熱過程。該設備采用直接熱耦合系統,能夠對退火、氧化、氮化和擴散等高速過程進行精確的溫度控制和快速加熱。RTP-600XP單元的腔室尺寸為476x406x127mm,適用於較大的加工項目。其重型耐用腔室結構提供最大可靠性和均勻供暖。該機還具有真空能力,非常適合特殊工藝,如排氣。MPT RTP-600XP具有低熱質量熱傳輸工具,具有專門設計的熱剖面發生器(TPG),具有獨立的時間和溫度曲線控制功能。此資產的獨特設計可確保最佳的散熱效果和最小的失真。它還具有開放大氣加熱能力,允許真空和壓力過程的受控組合。RTP-600XP模型具有先進的控制和優化功能,例如自動調諧功能,這使得預編程熱曲線易於保存,以備將來使用。它還具有精確控制預熱時間的功能,有助於確保盡可能高的精度。MPT RTP-600XP是高精度溫度傳感器的絕佳設備,可以更好地控制過程。它提供了統一、幹凈和穩定的結果。RTP-600XP具有處理各種應用的能力,非常適合各種行業尋求高效可靠的熱處理。
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