二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9137937 待售

STEAG/MATTS/AST 2800是一種快速熱處理器（RTP），設計用於半導體晶片的快速、均勻加熱和冷卻。該設備是一種高度通用、高效的熱工具，用於各種溫度感測和控制操作，非常適合研究和生產應用。AST 2800具有可靠、精確的雙室設計，每室工藝面積25厘米乘25厘米。這種可用空間的擴展允許用戶堆叠多個基板，大大提高了吞吐量和生產率。此外，一個保護性的惰性氣體流動系統包圍了工藝區域，防止了半導體材料的汙染。較短的熱循環時間進一步提高了高吞吐量,通常能夠在一秒內達到高達1200攝氏度的溫度。高精度的溫度和過程控制是STEAG AST2800的優點。這是由於先進的基於PID的控制單元能夠操縱設定點、停留時間、斜坡速率和最高溫度。除了這些參數之外，機器還包括用於優化流程應用的高級低流量邏輯。這有助於進一步提高最高溫度控制和刀具精度。精密溫度控制和快速熱循環時間是使AST AST2800技術復雜的硬件和工藝操作的理想選擇。2800的可靠性、準確性和效率使其成為關鍵任務流程的理想選擇。石墨敏感器加熱元件和專有的直接冷卻資產大大降低了出現缺陷的機會，導致半導體材料更加可靠。加熱協議還允許用戶輸入自己的特定加熱和冷卻特性,從而確保優化熱循環和均勻性的高精度處理操作。總之,MATTSON 2800是一款可靠、準確、高效的快速熱處理器,是高科技工藝應用的理想工具。該型號提供了一種用於熱循環期間保護的惰性氣流設備，以及每個腔室25厘米乘25厘米工藝面積的雙腔室設計，允許增加吞吐量。先進的基於PID的控制系統允許用戶輸入特定的加熱和冷卻參數進行精確控制，而專有的加熱協議則優化熱循環。所有這些功能結合在一起,使MATTSON AST2800可靠和準確的熱處理必不可少的工具。