二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9103114 待售

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STEAG / MATTSON / AST 2900
已售出
ID: 9103114
晶圓大小: 8"
Rapid thermal processing (RTP) system, 8" Single chamber (2) Loaders (2) Unloaders.
STEAG/MATTS/AST 2900是一款高速、經濟高效的快速熱處理器(RTP),專為工業和研究級應用而設計。它使用高頻、高效的熱處理設備,能夠在各種溫度範圍內快速、精確地控制溫度。這使得它非常適合包括快速熱退火、快速熱擴散和快速熱氧化等應用。AST 2900由一個包含加熱石英目標和一個精細控制的熱紅外輻射源的加熱室組成。這種紅外輻射源被用來精確加熱目標至2000 °C的溫度。其快速的熱處理系統確保目標可以被加熱,居住一段預先編程的時間,並在幾秒鐘內再次冷卻,允許快速的熱過程。它還為整個樣品尺寸提供了出色的均勻性控制,使熱量均勻分布在目標上。為了準確控制樣品溫度,STEAG 2900具有閉環PID溫度控制單元.這臺機器使用基於熱電偶的反饋工具來監測和控制樣品溫度。它還包括一個強大的嵌入式加熱功率控制器,可以精確控制溫度和加熱速率。MATTSON 2900還具有安全操作的廣泛安全功能。該接縫室采用雙壁結構設計,安全性強。它包括冷卻空氣的主動循環以及溫度控制故障的緊急停止循環。此外,在發生緊急情況時,可快速輕松地打開裝有彈簧鉸鏈的艙門。2900是快速熱處理應用的絕佳選擇。它的成本效益、快速和精確的熱處理確保它既適合工業用途,也適合研究級別的用途。其廣泛的安全特性和易於使用的控制系統使得它成為許多工業和研究應用的可靠選擇。
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