二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9084734 待售

STEAG/MATTS/AST Helios是由全球熱處理技術領先的AST MATTOSN製造的快速熱處理器（RTP）。它是一種通用設備，能夠提供廣泛的熱處理應用，包括薄膜沈積、退火和快速熱氧化（RTO）。該系統由連接到自動高溫室的水平安裝的感光器組成。該感光器能夠達到高達950攝氏度的溫度，設計用於高溫精度的可重復性。該室采用鹵素燈和石英空氣加熱裝置，設計用於均勻加熱感光器。該室還設有一個自動裝卸晶片門，以及一個隔離的排氣口，用於排出加工氣體。該裝置通常配置一個或兩個石英燈和一個鹵素燈。它可以連續、單批、自動化和半自動模式運行。晶片通過自動化的多級傳輸機制裝入腔室。該機還配備了PID溫度控制器，以確保均勻性和可重復性。該工具能夠處理各種晶圓尺寸和基材，包括矽、砷化​​氙和藍寶石。它能夠變薄至6微米，退火70至1000歐姆/平方英尺，以每分鐘70至150納米快速熱氧化至100攝氏度。該資產還具有溢價過程泄漏和長期周期穩定性,可重復、可靠的結果.總體而言,AST Helios是滿足各種熱處理要求的絕佳選擇。無論是沈積薄膜還是快速氧化晶片，該模型都能提供可重復再現的結果。它具有強大的結構和自動化功能,是高效處理零件的最佳選擇。