二手 STEAG / MATTSON / AST Helios #9206297 待售
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ID: 9206297
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Rapid thermal processor (RTP) system, 12"
(2) Process chambers
(3) FOUP
Carrier ID reader: Hermos RF CID
SECS / GEM
MBC Soak anneal controller
Low temperature option:
Including low temperature MBC
Fast cooling option: FAC / USJF
Low concentration processing kit
Over pressure control
Gasses:
N2, 20 SLM
N2, 150 SCCM
O2, 150 SCCM
O2, 20 SLM
O2, 2 SLM
Ar, 150 SCCM
Ar, 20 SLM
O2, 200 SCCMO APF Faceplate
2005 vintage.
STEAG/MATTSON/AST Helios是一款快速熱處理器（RTP），旨在提供精確的熱處理能力。它利用獨特的設計最大限度地提高吞吐量和生產率。AST Helios采用多種運行時控制功能，在室內提供精確的溫度控制。這種熱精度是通過多種恒溫技術實現的，包括PID（比例、積分和導數）、魯棒核心溫度控制系統以及獨立的工藝區域監控。這確保了對通過腔室的每個基板溫度的精確控制。STEAG Helios還提供令人難以置信的速度，讓溫度迅速上升和下降。這有助於提高吞吐量，因為整個基質種群可以一次處理。MATTSON Helios可以在不到10秒的時間內達到高達1,300 °C的溫度。除了Helios提供的快速速度和精確的溫度控制外，它還具有節省空間的設計。它只需要較小的運行空間。STEAG/MATTSON/AST Helios可以方便地安裝和拆卸，為工業和實驗室應用提供了方便的選擇。它還易於編程，允許使用定制的應用程序。AST Helios還提供了多種安全功能，如開放式腔室設計、壓力控制閥、緊急停止按鈕和多點保護系統。這些功能保護人員、設備和環境。STEAG Helios具有快速的處理時間、準確性和安全特性,是任何快速散熱處理器系統的理想選擇。MATTSON Helios憑借其通用的設計、快速的速度和先進的安全功能,確保熱處理應用程序更輕松、更高效。
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