二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一種工藝反應器，非常適合化學氣相沈積（CVD）和快速熱處理（RTP）應用。它是一個由不銹鋼製成的大型長方形容器，裝有惰性氣體，並裝有數個由o-ring密封密封的端口。使用軸向安裝的手動旋轉密封組件來打開和關閉端口，同時使用對流烤箱來維持腔室溫度。該容器由304 SS構成，設計直徑8英寸（20厘米），高度6.5英寸（17厘米），容積1000立方英寸（16升）。容器的壓力額定為40 psig（2.75 barg）。一個內部可旋轉的植入物支架軸向安裝在腔室中央，可以支撐直徑達4英寸的六（6）個晶片。腔室最多可裝有三（3）個工藝氣體入口和兩（2）個排氣裝置，以實現快速、動態的工藝循環。使用上面提到的對流烤箱加熱腔室。這個烤箱由304 SS構成，溫度範圍為20°F-950 °F （7°C-510 °C）。烤箱由PID溫度控制，均勻度± 5°F（± 2°C）。加熱速率可編程至650 °F/min （354 °C/min）。腔室還配備了變速風扇，使腔室內的對流氣流得以實現。AMAT 0010-09750是為各種CVD和RTP應用而設計的。其軸向安裝的手動旋轉密封組件、大容量、對流加熱，是現有效率最高的反應堆之一。其快速循環處理氣體的能力，加上其均勻的加熱，使其成為高通量和一致結果的理想之選。它能夠在低溫下實現高沈積速率，從而減少循環時間。該反應堆非常適合任何尋找可靠、高效的CVD或RTP系統的實驗室。