二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #293596273 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II
ID: 293596273
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Etcher, 6" (2) Chambers Gases: He, HCl, N2 NESLAB HX-150 Chiller EBARA Pump Indexers Chuck type: Clamp Standard frame type Manual loader type Automated cassette-to-cassette handling Pumps Controllers Chillers RF Matches AC Power box Generator rack 1990 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II是一種先進的等離子體蝕刻沈積反應器,非常適合半導體工業使用。AMAT P5000 Mark II提供高級流程,提供高性能和吞吐量,包括批處理的可能性,有助於降低總體成本。APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II是一種完全自動化、PC控制的粒子蝕刻設備,能夠提供精確、可重復的過程。通過獲得專利的自校準技術,APPLIED MATERIALS P5000 Mark II確保了對工藝參數的出色控制,確保了群集中許多工具的一致結果。此外,還可以對機器人進行編程,以使用6軸機器人自動將晶片從系統的輸入交換到輸出。反應堆的工藝室由不銹鋼結構制成,設計用於高利用率,維護最少。AMAT P 5000 MARK II結合定向蝕刻和其他離子源提供化學交換,增加了應用和工藝的潛在範圍。此外,該單元還具有多種特性和功能,如用於監控過程條件的內部光學機器,以及用於統一無維護操作的被動冷卻架構。P5000 Mark II與多種基材兼容,包括Quartz、Si、GaAs等。此外,該工具還配備了高精度晶片對準和定位系統,將晶片置於最佳位置,以確保工藝的統一和一致。P 5000 MARK II非常適合要求對等離子體蝕刻過程進行出色控制和統一結果的應用,提供高度的準確性和質量。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 MARK II結合了自動化系統和先進硬件,是一種先進的反應堆,可用於許多需要精密工藝的行業。
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