二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9365936 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II反應器是一種用於蝕刻、沈積和物理氣相沈積等應用的等離子體加工工具。這種獨立的、自給自足的設備能夠在單個腔室中支持各種等離子體工藝，從而實現簡化的生產工藝。AMAT P5000 Mark II能夠通過等離子體處理技術快速高效地改變半導體和其他材料的特性,從而能夠快速原型設計和快速制造定制元件。應用材料P 5000 MARK II是一種先進的等離子體處理系統.它采用雙淋浴頭源和專利等離子體源模塊設計的獨特專有組合，為廣泛的處理應用生成高密度射頻等離子體。該單元的特點包括過程控制真空環境和自動化等離子體處理技術。該機由主室、加工室和專用控制器組成。主室為圓柱形不銹鋼外殼，直徑180厘米（71英寸），長度371厘米（146英寸）。這允許使用各種處理參數。加工室位於主室內部，可容納各種部件進行加工。所有的等離子體處理都是在工藝室內進行的。專用控制器操作群集式流程配方工具，使流程條件與應用需求進行高效匹配。該控制器還管理等離子體源,允許手動或自動編程沈積,並提供對基板加熱、冷卻和端點檢測的過程參數控制,以及在整個過程中提供各種傳感和反饋系統。P 5000 MARK II資產能夠處理所有尺寸不超過15 × 15英寸（38 × 38厘米）的模具。它還可以處理厚度達300毫米（12英寸）的基板。此外,全自動模型還提供高級流程集成、一流的RF發電機和流程支持,以及旨在優化生產流程和實現最佳性能結果的軟件工具。AMAT P 5000 MARK II是一種先進的等離子體處理設備，旨在滿足廣泛的等離子體蝕刻、沈積和物理氣相沈積過程的需要。APPLIED MATERIALS P5000 Mark II憑借其用戶友好、功能強大的系統,提高了工藝效率、可靠性和性能,允許使用等離子體處理技術快速原型設計和快速制造定制組件。