二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 Mark II #9389398 待售
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ID: 9389398
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
CVD System, 6"
SV21 SBC Board
Hard Disk Drive (HDD) Flush type
FDD, 3.5"
Cassette indexer
Electrical controller
Elevator type: 8-Slots, 6"
(2) CRT Monitors, 17"
(4) Chopper driver power packs
(2) Opto I/O BD
Buffer I/O BD
Robots: Phase-III
Robot blade: Standard vacuum
Centerfinder: USE
I/O Sensor
I/O Door
Vacuum sensor
Cap wafer sensor
Slit valve
AC Rack: 1 Shrink
Heat exchanger
VME Controller
Stepper control BD
EMO Option: Turn to release
EMO Button guardrings
Status light tower (Color / Position): Red, yellow, green
Signal cable: 25"
Flash hard disk drive
Floppy: 3.5" SCSI Driver
(3) ENI OEM-12A RF Generators
HX Seperate mani fold
Gas panel: 12 Channels standard / Minicontroller
RF Generator:
Chamber A: OEM12B-02
Chamber B: OEM12B-07
Chamber C: OEM12B-07
Electrical controller:
(2) TC Gauge boards
Power rack, 12 VDC; (2) 15 VDC
Buffer I/O board
(2) Opto I/O boards
(4) Chopper driver power racks
Chamber:
Chamber position: A, B, D
Chamber type: DLH 1-Hole
Process: SiH4 Oxide
Heater type: Lamp
Susceptor type: Al
Water lift type: Ceramic hoop
(3) Pumping plates
(3) Ceramic focus rings
(3) Shower heads
(3) Blocker plates
(3) Heater windows
(3) Bellow susceptors, 6"
(3) Bellows water lifts, 6"
(3) Lamp drivers
Delta nitride dual spring throttle valve
Gas panel: 20 Standard channels
Gas supply: Top down
MFC: UFC 1660
Manual valve: BENKAN
Pneumatic 2-Way valve: NUPRO
MKS 122B Baratron gauge, 10 Torr
VME Controller:
1 / SBC Board
2 / SV21 SBC Board
3 / SEI Board
4-5 / -
6 / VGA
7 / AO-1
8 / AI-1
9-12 / Stepper control board
13-16 / Digital I/O board
17-20 / -
Gases:
Gas / Range
N2 / 3 SLM
SiH4 / 100 SCCM
CF4 / 2 SLM
N2O / 2 SLM
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Mark II半導體反應器是一種中壓光敏化學設備，旨在提供高通量、可靠和可控的性能。它是一種全自動系統，能夠對光刻工藝進行嚴格控制，從而在矽片等基板上形成緊密的藥物釋放膠囊。AMAT P5000 Mark II單元能夠同時運行多個進程,其設計方式是確保以較低的運營成本最大限度地利用資源。APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II反應器具有三室設計，包括主室、頂側室和底側室。P 5000 MARK II能夠進行一系列光致抗蝕劑加工步驟，包括熱和反應性熱氧化物、有機金屬化學、大面積均勻性降至10納米以下以及化學增強蝕刻。AMAT P 5000 MARK II反應堆的輸出速率高達500萬晶圓/小時,能夠連接多達4個用於多處理器光刻操作的P5000反應堆系統。P5000 Mark II配備了大量專用的硬件和軟件組件,可實現嚴格的過程控制,從而實現極高的準確性。該機器基於具有冗余處理器的分布式控制體系結構,可確保高刀具可用性。它還帶有一個高級圖形用戶界面，能夠以圖表和圖表的形式顯示詳細的過程結果。因此，它提供了一個全面的工具來協助石版畫家進行工藝選擇和優化。它配備了一系列先進的計量元件，以提供精確的過程控制。應用材料P5000 Mark II反應堆還配備了一些專用的保護系統，這有助於確保安全的操作環境。例如，資產包括一個ESD保護模型，幫助保護人員和設備免受靜電放電。此外，該設備還有一個內置的安全聯鎖系統，有助於降低意外部件故障造成工作環境不安全的風險。此外,設備還配備了監視器,可以向用戶發出任何潛在故障警報,並使他們能夠采取適當的糾正措施。綜上所述，AMAT/APPLICED MATERIALS P 5000 MARK II反應堆是一臺功能強大、可靠的半導體加工機。它配備了一系列精密的功能，結合了先進的安全功能，確保了高性能和超精確的處理效果。它提供了一個全面的，自動化的解決方案，以實現緊密的藥物釋放膠囊形成在基板上，如矽片。
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