二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9051354 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000是一種高精度、高性能、單晶圓熱處理反應器。它專為半導體、MEMS等先進材料行業的批處理工藝而設計。AMAT P-5000在生產集成元件方面的精確度、吞吐量和精確度使其成為生產晶片和半導體材料的強大、經濟高效的工具。反應器由兩個主要組件：工藝室和壓力室.該工藝室有一個用於均勻加熱和冷卻的旋轉敏感器，以及一個用於精確氣體調節的氣體噴射器。壓力室裝有壓力調節器和300毫巴氣體輸送設備。氣體輸送系統旨在在保持低壓穩定性的同時，對工藝氣體和溫度進行極其精確的調節。APPLIED MATERIALS P 5000反應堆還裝有專利熄火裝置。本機測量流程參數，並提供高級反饋控制和診斷。此工具有助於防止流程不穩定並確保最佳流程性能。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000反應堆能夠處理多種材料，包括砷化的、石英的、氮化的、碳化矽的和III-V化合物。工藝設計為實現高溫、快速冷卻和從1毫巴到900毫巴的工藝壓力。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000還采用等離子體增強化學氣相沈積、原子層沈積和納米級制圖技術來生產高度集成的元件。在安全性和可靠性方面，P 5000反應堆設定了標準。它設計有完整的安全資產，包括壓力監測儀、真空鎖閥、氫氣流量閥和高壓排氣泄漏檢測器。反應堆還設有雙軌單步工藝控制器和溫控安全關閉模型，以確保工藝穩定性。最終，APPLIED MATERIALS P5000反應堆是生產晶片和半導體材料的先進、可靠和經濟高效的工具。它的精確度、吞吐量和精確度相結合,使其成為設計工程師和制造專業人員都非常有價值的工具。