二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9054881 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
已售出
ID: 9054881
晶圓大小: 5"
PCVD SiN System, 5" (2) Chambers Gases: CF4, O2, SiH4, NH3, N2 Currently warehoused.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種高性能反應器,設計用於諸如等離子體蝕刻、濺射和沈積等復雜過程。它提供了廣泛的功能和功能,使用戶能夠創建功能尺寸較小的復雜結構和功能,並以極高的準確性和控制力進行各種實驗。AMAT P-5000 Reactor基於平行板系統,允許在同一腔室內處理不同大小的區域,消除不均勻性。反應堆的配置確保了整個表面的最佳蝕刻速率和均勻性。它能夠處理尺寸不超過300毫米的樣品,其尺寸可以根據用戶的需要進行定制。APPLICED MATERIALS P 5000反應堆配有高功率電源,能夠對多層材料進行蝕刻沈積。該電源可提供高達5000瓦的功率,允許高吞吐量的過程。反應堆本身的設計提供了很好的溫度均勻性和空間均勻性,使其成為沈積過程的理想選擇。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactor配備了多種傳感、監測和控制功能。這些特性允許操作員監控壓力、溫度和VDF分布,以及ICP氣體濃度等其他參數,使他們能夠實時控制和調整過程。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000反應堆是一種用途廣泛、功能全面的反應堆,能夠滿足廣泛的用戶需求和實驗要求。高精度和高性能使其成為尋求對實驗進行最大控制的用戶的絕佳選擇,並且適合高吞吐量應用。
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