二手 NOVELLUS CONCEPT One #9148239 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種先進的化學氣相沈積（CVD）反應器，旨在使材料科學家和工程師創造出高性能、超均勻的薄膜塗層。它由強大的NOVELLUS CONCEPT ONE CVD平臺提供動力，提供超精確的溫度、壓力和成分控制。這保證了塗層的精確組成和均勻性每一次都能達到。CONCEPT One系統能夠提供均勻、一致的沈積速率以及高均勻性的薄膜厚度。這是由多種特性所實現的，包括其可嵌入的幹膜噴嘴、雙室設計和下一代電光頭。CONCEPT ONE的可嵌入幹膜噴嘴的獨特之處在於，它可以很容易地進行調整，以適應一系列的應用過程，如蝕刻、沈積和濺射。這有效地幫助調整沈積速率，同時允許超均勻沈積速率。NOVELLUS CONCEPT One的雙室設計有兩個用途。首先，內室包含一個可變壓力環境，用於控制沈積過程的溫度。這是通過使用氙氣、氮氣或空氣來實現的，這取決於正在加工的材料的性質。然後，NOVELLUS CONCEPT ONE的外室作為一個環境室，在噴嘴周圍提供一個孤立的氣氛，減少外部環境變化對塗層工藝的影響。這樣可以實現結果的可重復性和一致性。CONCEPT One還擁有創新的電光頭。測量和調整塗層光束的強度，確保利用最佳的光束能量來產生所需的塗層。這就優化了沈積速度，並導致了塗層的高均勻性。總體而言，CONCEPT ONE是一種先進的化學氣相沈積反應器，使材料科學家和工程師能夠制造高性能、超均勻的薄膜塗層。它由強大的NOVELLUS CONCEPT One CVD平臺提供動力，提供超精確的溫度、壓力和成分控制。它還具有可嵌入的幹膜噴嘴、雙室設計和下一代電光頭，所有這些都有效地幫助創造出一種統一、高質量的塗層。