二手 NOVELLUS CONCEPT One #9183491 待售
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NOVELLUS CONCEPT One是一種先進的、用於半導體制造的單晶圓反應堆系統。它結合了最新的高通量、低擁有成本薄膜沈積技術和革命性的新功能,旨在提高工藝能力和可靠性。NOVELLUS CONCEPT ONE在其核心裝有多個沈積反應堆，配置了新的或現有的薄膜沈積工藝。這些反應堆能夠沈積技術要求最高的材料如超高k電介質、氧化物、氮化物和金屬氧化物的薄膜。總體而言,CONCEPT One為薄膜沈積技術提供了獨特、經濟高效的方法。其最先進的設計提供了一個多反應堆，可訪問各種工藝技術的在線形成解決方案。它可以實現前所未有的可預測性、可重復性和設備壽命,同時大大降低流程成本。CONCEPT ONE比傳統的單晶片非串聯沈積系統有幾個明顯的優勢。一方面,它的自動化集成平臺經過精心設計,可最大限度地提高各種工藝技術的性能和效率,而無需人工操作。NOVELLUS CONCEPT One消除了沈積過程的每個階段都需要單獨的腔室和系統的需要,從而提供了一個更經濟高效、可靠和可重復的TFDP解決方案。此外,NOVELLUS CONCEPT ONE采用了經過驗證的流式反應堆設計,可保證晶圓的均勻性,並提供卓越的精度和可重復性。通過使用模塊化設計，CONCEPT One允許用戶快速定制反應堆，為任何給定的應用提供最佳性能。此外,CONCEPT ONE先進的表面分析儀和原位氣體控制技術可隨時確保晶片的均勻性,從而確保最高質量的結果。對工藝環境的控制,加上其高沈積速率,使得晶片之間的均勻性和產量達到了無與倫比的水平,使NOVELLUS CONCEPT成為高級3D封裝和互連應用的理想選擇之一。最後，NOVELLUS CONCEPT ONE的可靠、易於維護的平臺非常適合小型和大型生產。簡而言之,它在高性能、低擁有成本、快速的流程設置和低維護要求之間提供了很好的平衡。所有這些加在一起構成了一個多功能、模塊化和持久的系統，非常適合先進的半導體制造。
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