二手 NOVELLUS CONCEPT One #9226320 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種反應堆，用於金屬和電介質等基材的沈積和蝕刻。它配備了高頻電容耦合等離子體（HFCP）、模塊化晶圓級工藝模塊等幾個先進特性。該反應堆兼具高通量生產率、低擁有成本和小占地面積，是研究和生產應用的理想選擇。該反應堆的設計提供了高通量、沈積環境精確控制和精密工藝配方的完美組合。HFCP源提供了更高的離子密度和更大的蝕刻元件深度，從而提高了工藝精度和速度。HFCP源還提供了根據特定需求定制工藝參數的能力。利用NOVELLUS CONCEPT ONE反應堆的精確功率控制、反應物供應的精確控制和沈積環境的精確控制，用戶能夠產生高縱橫比的一致、均勻的薄膜材料沈積。反應堆還配備了模塊化晶圓級工藝模塊。這為晶片級操作提供了精確的控制和靈活性,如計量、成像、噴塗和沈積。反應堆還與幾個附件兼容，如Process Veinless Systems、真空傳輸模塊、氣體輸送系統和可變角度線圈源。反應堆的一個重要特點是其快速的工具設置和短周期時間，從而實現最大的生產力。此外,它易於操作,並且在開發新流程時具有很大的靈活性。CONCEPT One反應堆提供精確度、性能和成本效益的絕佳結合，非常適合各種研究和生產應用。反應堆具有先進的特點和靈活性，是創建和實施可靠、可復制和具有成本效益的加工和沈積的理想工具。