二手 NOVELLUS CONCEPT One #9262615 待售

NOVELLUS CONCEPT One是一種CVD（化學氣相沈積）反應器，設計用於半導體器件的均勻、可重復處理。這臺機器於2004年首次推出，成為半導體及相關行業的熱門選擇。其特點包括工藝重復性優越，操作成本低。其性能在以後的每個版本中都得到了改進,目前的設計提供了更高的吞吐量和更好的過程控制。NOVELLUS CONCEPT ONE的核心是它的過程室。這是一個帶凹槽的不銹鋼襯裏腔室，允許放置多個工藝晶片。腔室受熱控制，壓力範圍可調。它還配備了一個快速疏散系統，可以讓腔室立即撤離，這是啟動沈積過程所必需的。CONCEPT One還具有等離子體源，用於啟動化學氣相沈積過程。該源產生一種單原子氣體，又稱等離子體，被加熱並通過工藝室。這種等離子體與所需的材料相互作用，將材料傳遞到晶圓上。此過程極為均勻,每層厚度相同。CONCEPT ONE的其他特點包括流程監測和控制，以及集成的數據采集系統。這種數據采集系統允許實時觀察沈積過程，使工程師能夠從頭到尾監控整個過程。簡而言之,NOVELLUS CONCEPT One是一種可靠、低成本的CVD工具,可提供卓越的重復性和過程控制。它是一個備受推崇的設備，許多工程師和工藝工程師推薦它的靈活性和出色的結果。這反過來保證了它在半導體行業的反復普及。