二手 VARIAN XM 90 #9077097 待售

VARIAN XM 90是一種精密濺射設備，設計用於將薄膜材料沈積到次ANGSTROM級。它是一個高度通用、高效的半導體加工和計量應用薄膜制造平臺。VARIAN XM90系統利用了一系列不同的濺射源，包括一個旋轉的水冷目標，以及氣體維持源和直流/射頻源，所有這些都可以單獨控制，以提供一系列沈積可能性。XM 90由一個控制器單元組成，它具有多個IO和用戶界面，以確保操作方便。控制器允許用戶設置目標旋轉速度和腔室壓力等參數，以及提供有關薄膜和基板特性的反饋。XM90還包括傳感器和組件,用於監控功率、溫度和分壓,從而實現精確的沈積控制。VARIAN XM 90包含一個氣體進排氣單元，以保持清潔和無汙染物的操作。它還包括一個可編程的節流機，能夠保持室內恒定的壓力和控制反應物氣體的分布。VARIAN XM90設計在-60°C至+300°C的溫度範圍內運行，能夠沈積具有多種特性的材料。XM 90具有多種配置,具體取決於用戶所需的薄膜沈積要求。它既支持旋轉和平面目標系統，也支持一系列目標材料，如金屬、氧化物、菱形碳和介電。該工具還可以配置為同時實現多層沈積。總體而言，XM90是一種高度堅固和可靠的濺射資產，能夠以低於ANGSTROM的精度沈積薄膜。其用途廣泛、高效的設計，可實現精確的薄膜沈積，並便於操作和維護。VARIAN XM 90具有同時沈積多層材料的能力和廣泛的工藝參數，是薄膜制造的有力工具。