二手 AIRCO TEMESCAL VES 2550 #166774 待售
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ID: 166774
Electron Beam Evaporation System
25.5-inch diameter x 12-inch high stainless steel, water-cooled deposition chamber designed for waist high substrate loading and unloading
25.5-inch diameter x 20 inch high stainless steel, evaporation source chamber with model VV-400 View Vac view port with Teflon film
CTI 400 On-Board cryogenic pump
CTI 9600 Helium compressor
Mechanical vacuum pump
Auto / manual vacuum valve sequence controller
Ionization gauge and thermocouple gauge controller
Inficon IC6000 Auto/Manual Deposition rate / process controller
CV-14, 14kW electron beam power supply with X-Y beam sweep controller
Temescal Four (4) pocket electron beam gun with crucible indexer
Source shutter assembly fully integrated with deposition controller
Substrate tooling for Lift-off deposition process
System manuals
Optional: Neslab HX350 air cooled water chiller / recurculator
1991 vintage.
AIRCO TEMESCAL VES 2550是專門為最佳膜沈積而設計的濺射設備。該系統有兩個磁控管陰極和兩個鋁制圓盤目標，它們可以相互獨立運行，從而使蒸發材料和濺射材料同時沈積。該機組還擁有控制磁控管陰極功率輸出的變頻電源，以及用於圓盤目標的三相可變電源。此外，TEMESCAL配備了氣體面板，用戶可以精確控制各種反應性和非反應性氣體的流量和混合。此外，該機具有高精度轉盤和獨特的噴嘴設計。這種設計允許在被塗覆的基板上均勻沈積。該工具還配備了高穩定性的離子源，能夠控制底物處的通量和能量；以及可調節高度的動力基板穿梭臂，以便於接觸基板。AIRCO TEMESCAL VES-2550還具有高科技、易於使用的控制面板,可精確控制目標溫度、基板溫度、離子通量、功率輸出和沈積速率。它還兼容各種相機和成像系統，允許用戶實時監控和分析過程。此外，TEMESCAL的設計效率高，能耗低，排放量最小。總之,VES 2550是一種優選膜沈積的專用濺射設備.它具有最先進的特點，可以精確控制和分析沈積過程，同時將功率和排放量保持在最低限度。這使得它成為任何需要薄膜沈積的應用的理想選擇。
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