二手 AJA INTERNATIONAL ATC 2000-F #293663166 待售

ID: 293663166
Sputtering system.
AJA INTERNATIONAL ATC 2000-F是一種用於先進沈積技術的多功能濺射設備。該系統設計用於太陽能電池生產、薄膜沈積、晶圓級封裝等多種高精度應用。這一單元能夠高沈積速率和對鋁、銅、鉻、銀等金屬部件的精確控制。該機包括強大的真空技術,能夠沈積高達三倍的單靶系統的薄膜速率。AJA INTERNATIONAL ATC-2000F濺射工具配備射頻發電機,為目標供電高達100 kW。這樣可確保真空室內的高沈積速率和最大均勻度,可達到10-4 mbar。資產可以獨立於Multi-Target模型運行多達8個目標,該模型能夠使用單個控制器控制多達24個目標的過程。這允許大表面的均勻塗層和不同材料覆蓋各種基材尺寸的選項。此外,設備有能力控制從0.1-500埃/分鐘的沈積速率。PLC(可編程邏輯控制器)可實現全自動操作和控制。它允許目標和基板的精確對齊,這對於均勻塗層是必不可少的。先進的性能監控系統允許維護和優化設備的過程時間和參數。ATC 2000-F濺射機采用安全相關工具,具有外殼資產和泄漏傳感器。安全模型可抑制有害氣體的沈積,保持環境不受汙染。ATC-2000F濺射設備在真空環境中提供可靠的性能,可用於各種應用的薄膜沈積。其精確的控制和較高的沈積率能力有助於在大表面上生產各種材料的耐用塗層。其強大的安全系統和完善的性能監測裝置確保了成功和安全的運行。
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