二手 MAT-VAC MVT-94X #9003937 待售
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ID: 9003937
Sputtering system
Dual level load lock
CTI-8 cryo pump
Simultaneous processing of 12" x 12" pallets
DC Magnetron, RF Magnetron and RF diode sputtering capabilities
24 V DC components
Single and bi-directional substrate scanning modes
Vacuum gauging controls: Granville Philips 307 and Digivac
Proteus interlock water flow switches
208 V, 100 A, 60 Hz
Includes:
MAT-VAC modular electro-pneumatic valve bank
Hydraulic pump/motor and all lines
(2) Electro-pneumatic gate valves for process chamber and load lock with position sensing.
MAT-VAC MVT-94X是為頂級工業級沈積應用而設計的最先進的濺射設備。該系統結合了非凡的靈活性和性能以及用戶友好的圖形界面。該單元具有豐富的功能，使用戶能夠快速準確地高效地完成沈積過程。MVT-94X具有兩個獨立的磁控管，可以通過圖形用戶界面進行調整。每個磁控管都可以以不同的功率級別操作，允許用戶定制自己的濺射過程。此外，一個包含兩個獨立熱蒸發源的法拉第籠子也配備了機器，增強了其濺射能力。該工具還配備了高度先進的自動化過程控制資產。該模型不斷監測濺射過程的所有參數並進行相應調整，使用戶能夠在整個沈積周期內保持一致的性能。這種自動化的過程控制功能大大減少了人為錯誤,並大大提高了設備性能。濺射系統還設計了多項創新的安全功能。可以使用鹵化裝置來保護使用者免受濺射過程中可能釋放的有害顆粒或蒸氣的傷害。此外,集成的鎖定機器可防止未經授權的人員訪問該工具。MAT-VAC MVT-94X是一項令人印象深刻的資產,它結合了先進的技術和多功能性,是高容量工業級濺射應用的理想選擇。該模型強大的一套功能使用戶能夠自定義和優化濺射過程。此外，設備的自動化過程控制系統和haloplex單元確保用戶安全和機器性能。
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