二手 MRC / MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633 #132274 待售

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ID: 132274
Sputtering system, parts system No turbo pump Targets / RF Generator included.
MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633是一種最先進的濺射設備,用於將薄膜和納米結構材料沈積到半導體晶圓、玻璃和金屬等基板上。該系統利用三個獨立的濺射源組合各種材料,提供了更好的覆蓋面和最佳的沈積速率。濺射源采用雙目標陰極設計,允許廣泛的目標材料和沈積速率。該裝置還包括可調濺射壓力、溫度和氣流監測。該機是高質量薄膜工藝控制和優化的理想設備,具有對濺射槍電流等工藝參數的精確控制,最大限度地減少了薄膜的不均勻性。MRC SS-8633還配備了一個先進的紅外傳感器,對工藝溫度提供反饋和控制。該工具配備了水循環和先進的冷卻管理資產,並配有自動關閉閥,以防止過冷。MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633是耐用和可重復的濺射過程的理想選擇,它具有快速的目標轉換時間和最小的濺射運行停機時間。該模型提供了改進的薄膜均勻性,精確的過程控制和可重復性在基板的所有部分。SS-8633還具有多種可用的工藝氣體,對各種不同的材料具有反應性。此外,MRC/MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633與其他各種過程控制和自動化系統集成,以提高生產率和過程靈活性。除了廣泛的工藝氣體和工藝控制外,MRC SS-8633還提供精密薄膜沈積,滿足各種應用和研究需要。設備還配備了用戶友好的圖形用戶界面(GUI),允許用戶快速設置和監控流程。總體而言,MATERIALS RESEARCH CORPORATION SS-8633是一種創新、精確和高效的濺射工具,旨在將薄膜和納米結構材料快速準確地沈積在各種基板上。該系統具有精確的濺射槍控制、可調濺射壓力、過程監測、冷卻管理和各種過程氣體。此外,該單元還與廣泛的其他過程控制和自動化系統兼容,提供了提高的多功能性和生產率。
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