二手 UNAXIS / BALZERS LLS EVO #9296436 待售

UNAXIS/BALZERS LLS EVO濺射設備是一種PVD（物理氣相沈積）系統，設計用於薄膜沈積在基板上。這個單元利用物理氣相沈積，意味著薄膜是由材料的單個顆粒產生的，而不是通過化學氣相沈積，一般涉及氣態前體的反應。UNAXIS LLS EVO是一種模塊化濺射機，使用大功率脈沖磁控管濺射（HIPIMS）技術，以確保材料使用和沈積時間最短。HIPIMS具有比傳統磁控管濺射產生更多高能離子的能力，允許更高效的濺射沈積。BALZERS LLS EVO還具有可選的等離子體電源,包括直流電（DC）和高頻（HF）電源,以及受控環境室。這有助於確保沈積均勻性,並最大程度地減少與細膩底物的接觸損傷。所有這些組件都可以精確控制生產的薄膜的工藝和沈積特性。LLS EVO能夠實現多種沈積目標，包括均勻保形塗層、雲計氮、摩擦化學轉化、高密度塗層、高長寬比封裝。該工具還具有高級工藝控制功能，允許優化工藝參數和實時測量薄膜性能。這提供了可重復的過程結果和增加的過程產量。UNAXIS/BALZERS LLS EVO資產非常適合需要高性能薄膜的應用，包括MEMS設備、光學應用、半導體應用和汽車催化轉化器。該模型在沈積工藝能力和薄膜沈積質量方面具有獨特的優勢，適用於廣泛的應用要求。