二手 VARIAN 3180 #9018131 待售

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VARIAN 3180
已售出
製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9018131
晶圓大小: 4"
Sputtering systems, 4" Parts machine.
VARIAN 3180濺射設備是一種高效的儀器,用於在基板上創建層薄膜。該系統的工作原理是轟擊一種由分子組成的化合物,這些分子具有高能粒子束,通常是原子或離子。當這些顆粒撞擊目標時,物質被濺出並沈積在基板上。這種工藝常用於半導體制造、光學塗層的沈積以及多種其他應用。3180是閉環、3頭強力、RF二極管濺射單元。它的設計具有許多有益的特性,這些特性共同實現了高效的薄膜沈積。該機適用於有機膜和無機膜,具有三個獨立的沈積頭。這三個頭可以旋轉或平行沈積,以確保所得薄膜的均勻性。功率、壓力和電壓的水平都可以在沈積室中進行調節,使過程最大化。VARIAN 3180工具還提供了增強的過程控制,能夠提供精確的射頻密封以及氣體和壓力控制。此外,資產還利用了復雜的自動化模型,該模型具有一系列菜單驅動的操作設備功能,如清潔、充電點和多步驟配方控制。系統的設計還有助於確保更長的目標壽命,使用戶可以更好地控制其生產成本。3180的腔室有一種特殊的防濺射塗層,有助於防止灰塵進入沈積環境,從而保持目標材料的質量。在安全性方面,VARIAN 3180包含了一系列的安全特性。該單元的組件設計有防火防塵罩、電氣防護連接和獨特的「輔助模式」,可防止過流。該機器還具有全面的電氣和環境安全系統,旨在檢測任何故障或潛在問題。總之,3180濺射工具是一種可靠有力的儀器,適用於許多薄膜沈積應用。它提供了許多有益的功能,支持高效的處理、準確的控制和增強的安全性。該模型具有集成的自動化資產、防塵蓋和全面的安全系統,旨在通過降低成本和能耗來支持良好的生產成果。
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