二手 BUEHLER Ecomet 3 #9352405 待售

BUEHLER Ecomet 3是專門為加工模具和晶圓材料而設計的自動化晶圓研磨、研磨和拋光設備。該系統具有三個不同級別的精加工工作站：粗磨、研磨研磨和金剛石拋光。適用於缺陷評估、晶體結構分析、平面生成等多種應用。BUEHLER ECOMET-3設計為一次最多可容納八個晶片，並配有自動載波將其索引到研磨站。它的兩個獨立的磨輪可以以不同的速度運行，最高可達1000 rpm。磨削循環利用單個磨盤，或兩個磨盤來得到特定的摩擦系數。其研磨站設有專用行星驅動器，沿表面均勻、平滑移動，有助於消除表面缺陷，提高光潔度質量。該拋光站具有應用可變金剛石漿料施用率和調漿率的高精度效果。CAMS Profile軟件包支持硬件,該軟件包允許用戶快速輕松地設置自定義的材料類型和處理參數。設備還配備了自動溫度反饋回路，確保工件進入工作站時保持在指定溫度。此外，Ecomet 3的控制機器提供按需數據記錄和趨勢。ECOMET-3已獲得CE認證,並附帶各種選項和服務程序,包括自動清洗、晶圓托架裝載和一般維護。它具有容納各種材料和在不同環境條件下工作的多功能性。總之，BUEHLER Ecomet 3為晶片、模具和其他基材的加工提供了一個經濟、精確控制和自動化的解決方案。