二手 BUEHLER ECOMET III #9178016 待售

BUEHLER ECOMET III是一種高精度晶圓研磨、研磨和拋光設備，非常適合半導體晶圓、光學元件和薄膜的制造和表征。單軸平臺，加上精密的主軸和研磨夾具，使用戶既可以高效研磨，也可以高效率地打圈。ECOMET III能夠精確控制所有相關參數,例如負載、主軸速度、進料速率和研磨深度。它還包括自動傳感器,用於監控晶圓溫度,以便在拋光過程中精確研磨。BUEHLER ECOMET III利用微處理器技術和穩健的驅動系統來保持高精度。傳動單元采用零反沖齒輪系，使機器能夠在高速和狹窄的空間中以最小的間隙執行。該機還提供可選的螺距補償,以確保均勻研磨.這種補償可以在操作過程中進行調整，以保持工作表面的精確著裝，並最大限度地減少磨碎或振動。ECOMET III包括一個可調節的研磨深度控制以及幾個可調節的操作參數，如臺速、主軸速度和進料速率。工藝參數可以根據所研磨的材料、所需的晶粒尺寸和所需的表面粗糙度而變化。這種靈活性使用戶能夠快速自定義每個操作以滿足其特定需求。BUEHLER ECOMET III能夠產生極精確的表面，表面飾面精湛。該工具利用磨削、研磨和拋光的三個不同階段來產生高度拋光的表面。磨削階段利用金剛石輪從晶圓中磨損一層薄薄的材料。研磨階段用於通過創建允許材料和表面均勻性的小通道來細化表面。拋光階段采用組合拋光墊，達到極細的光潔度，不會出現變形。ECOMET III設有一個完整的外殼，以確保操作期間的安全工作環境。該資產還包括一個真空清洗模型，以盡量減少環境中的灰塵存在和一個安全衛士與傳感器停止。BUEHLER ECOMET III是晶圓和光學元件的制造、研究和表征的完美解決方案。