二手 DISCO DFG 840HS #9054572 待售

DISCO DFG 840HS是一種先進的晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在實現半導體器件制造過程中的高級工藝控制和精度。該系統是備受贊譽的DISCO工藝研磨、研磨和拋光系統系列中的最新型號,並提供最新的創新和工程設計,以反映設備制造中最先進的行業標準。840HS包括高速砂輪基座單元、自動研磨機基座、拋光頭以及其他幾個可以針對特定晶圓加工要求定制的組件。研磨研磨過程由高頻主軸電機驅動，采用獨特的專有步進電機技術完成拋光。此技術可確保磨削、研磨和拋光階段的最高工藝精度和控制水平,同時將操作員的疲勞和維護要求降至最低。該840HS單元采用了創新的主軸和驅動器的組合，這些主軸和驅動器協同工作，形成了先進的晶圓研磨、研磨和拋光工藝。這臺機器還包括一些額外的組件，便於一致和精確的操作。例如，拋光包括高度先進的張力輥工具，有助於在拋光過程中保持均勻的晶片張力，同時防止晶片變形或損壞。840HS中的自動研磨過程是完全自動化的,具有高度精確的可重復性。該工藝利用經過校準的油泵來精確地控制研磨參數，而一種特殊的線性驅動裝置則能確保晶圓的精密研磨和均勻研磨。該840HS還配備了高級流程監控模型,具有顏色編碼圖形和觸摸屏儀表板,可提供有關流程執行準確性的圖形反饋。為了確保流程的一致性，840HS還配備了一系列先進的傳感器和計量系統。該設備包括最先進的溫度、振動和壓力監測傳感器,用於檢測工藝參數中的異常並幫助實時調整參數。這有助於保持最高級別的過程精度和控制,同時最大程度地減少操作員疲勞和閑置時間。總體而言,DISCO DFG 840 HS是一種先進的工藝平整、研磨、研磨和拋光系統,可提供半導體器件制造的最高精度和精確度。其自動化研磨、高精度主軸電機技術和用戶友好界面的結合，使其成為任何半導體器件工藝平整應用的理想選擇。