二手 DISCO DFG 860 #9355526 待售

DISCO DFG 860是一款先進的晶圓研磨、研磨、拋光設備，設計用於加工半導體、研發和光學行業的小部件。該系統具有高效的行星研磨單元，有四個工作站。它可以同時拋光或研磨多達四個晶片，與傳統的研磨或拋光系統相比將節省大量時間。此外，由於包括集中過濾和冷卻的漿料機，DISCO DFG860單元兼作研磨機。DFG 860工具具有自動化晶片映射功能，使用戶能夠輸入晶片位置數據，並為每個晶片或基板創建不同的研磨模式。此資產還允許為特定應用程序設置多個用戶定義和定制的研磨過程。這樣可以確保用戶能夠控制其最終產品的大小和形狀,從而在較長的生產周期內實現精確一致的性能。DFG860型號具有可容納四個300 mm晶片的輸送設備,並具有可調節的中心導軌,為晶片加載提供了較大的範圍；利用垂直振動技術，晶片在研磨、研磨和拋光站之間運輸。DISCO DFG 860可實現高達3500 rpm的研磨速度,可用於12英寸大小的晶片的高性能研磨。DISCO DFG860上的拋光臺采用低振動、平衡拋光布軸承單元,可在低拋光力的情況下實現平滑和最佳的表面調節。通過使用定制的預編程撫摸模式，用戶可以輕松實現晶圓表面的均勻拋光。DFG 860系統還自動清除拋光頭中的漿渣殘留物，為關鍵應用提供最佳的表面清潔和附著力。DFG860是一個功能強大的單元，設計了一個直觀的用戶界面，允許在幾分鐘內設置。這臺機器還包括一系列選項，包括多種尺寸的拋光墊、單片和批處理能力，以及擴展連接選項的CAN總線。該工具是晶片和基板研磨、研磨和拋光的理想平臺，在半導體工業以及研發中大量使用。