二手 EBARA EPO-2228D #293642832 待售

EBARA EPO-2228D是一種精密晶圓研磨、研磨和拋光設備,旨在在高級應用中達到最高水平的平坦度、表面光潔度和邊緣精度。EPO-2228D能夠處理直徑不超過8英寸的晶片,並提供各種功能和選項以滿足各種用戶需求。該系統包括用於精確車輪對準和可重復車輪圖樣的兩軸電動晶圓木匠卡盤，以及用於快速、精確車輪修整的兩軸電動拋光主軸。變速驅動和手動車輪控制允許精確控制車輪速度，可變高度的車輪托盤最多可容納兩個電動或手動車輪。該單元還包括一個手動輪轂，用於手工拋光小型和難以到達的區域。該機器易於使用，具有用戶友好的觸摸屏控制器和車載診斷。自動化的輸送機工具能夠有效地進行物料的裝卸，低壓排氣設備可以提供卓越的空氣過濾和控制。該模型還具有內置的安全功能，包括條形碼讀取器、工具箱門互鎖、自動互鎖排序和緊急停止按鈕，以幫助確保機器的安全使用。該設備旨在提供最高水平的準確性和可靠性，使其適合廣泛的晶圓處理應用。它能夠實現高水平的表面光潔度和平坦度，以及出色的邊緣精度。該系統旨在通過提供較高的研磨速度和較快的過程控制時間來減少循環時間並最大程度地提高吞吐量。EBARA EPO-2228D單元可配備多種選項，包括多個磨輪、噴塗加工機、晶圓工藝監控器和熱控制工具，以及多種真空和液體進料系統。資產也非常靈活,可以配置為符合許多客戶規格和要求。EPO-2228D是晶圓研磨、研磨和拋光的完美解決方案。它旨在提供高精度和可靠性,為各種半導體和其他制造應用提供卓越的表面光潔度、平整度和邊緣精度。