二手 EBARA Frex 300S #9382436 待售

ID: 9382436
Oxide CMP system, 12" EFEM.
EBARA Frex 300S是一種晶圓研磨、研磨、拋光設備,設計用於在半導體晶圓上生產超精密平面和曲面。它采用對決軸設計,將二次諧波控制有效地結合到過程中,產生了高度可重復的成形和精加工精度。該系統可容納多種基材,包括矽和砷化氙,直徑從單個晶片到450mm不等。它基於雙面研磨、電化學加工、最先進的動態工藝控制等先進技術。這樣可以顯著提高表面質量、吞吐量和生產率。該裝置配備了先進的高速磨頭,使其能夠快速準確地加工。它可以通過廣泛的設置進行調整,包括深度和力、速度和沖程限制,以獲得更高的精度和控制。這樣可以確保始終取得理想和一致的結果。對於研磨和拋光操作,EBARA FREX300S配備了集成的諧波打印機和平面機。這種功能強大的工具能夠在更短的時間和更少的叠代中生成一致且準確的曲面,從而大大降低了生產成本和時間。該資產還包括一個功能強大的軟件界面,使其能夠輕松地與其他工具和系統集成,從而實現高效和更快的生產。此外,F-REX300S還包括一些測量和檢查工具,如剖面儀、模具參考模型和激光剖面儀,以便進行徹底和準確的檢查。這樣可以確保設備始終及時生產優質零件。F REX 300 S是為了在半導體晶圓上生產超精密平面和曲面而設計的先進而強大的系統。它配備了集成的諧波打印機和平面化單元,以及高速磨頭,以實現快速、精確的性能。機器還包括一系列的測量和檢驗工具,確保生產的零件質量一致和可靠。這樣可以提高生產過程的效率和準確性。
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