二手 EBARA Frex 300S #9396291 待售

EBARA Frex 300S
ID: 9396291
晶圓大小: 12"
CMP System, 12".
EBARA Frex 300S晶圓研磨、研磨和拋光設備是該領域最先進的設備之一。其獨特的設計融合了微處理器控制的伺服馬達驅動底座,允許在整個工裝系列中動態穩定拋光,使其具有很高的準確性和生產率。該系統還設有一個電子可調表,可在粗磨和精磨及拋光過程中精確控制材料的去除率。這確保了優越的效果,即使使用了纖薄的材料也是如此。該裝置配有用於均勻晶片研磨和研磨的高精度主軸,設計用於高速低振動操作。該傳動機由定制設計的旋轉級電機驅動,用於連續無級調速。該工具還采用了自動索引機制,以提高生產率和更加準確的過程控制。此外,該單元還具有內置主軸修復選項,可通過加快安裝和恢復速度來延長研磨和研磨頭的使用壽命。EBARA FREX300S資產還配備了強大高效的除粒模型。此特性旨在去除研磨、研磨和拋光操作過程中產生的多余顆粒,從而導致產品汙染和產品夾雜物。設備采用特殊的排氣抽吸裝置,從機器中提取灰塵、顆粒和其他材料。這種安排還有助於保持機器運行清潔,不受外界汙染。最後,F-REX300S系統是一個持久可靠的主力,能夠處理廣泛的材料,包括石英,矽,氮化物,等等。它的設計易於維護,堅固的結構確保它能夠承擔最艱巨的任務。總而言之,FREX-300S是晶圓研磨、研磨、拋光工藝的絕佳選擇,得益於其先進的設計、強大的性能和耐用的構造。
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