二手 EBARA Frex 300S2 #293606311 待售

ID: 293606311
CMP System.
EBARA Frex 300S2晶圓研磨、研磨和拋光機旨在在生產環境中提供精確、高性能的研磨、研磨和拋光解決方案。該設備由一個集成的研磨單元、研磨板和拋光頭組成,可通過計算機控制操作,允許在晶圓厚度上切割長達5 μ m。該機由磨床單元和研磨拋光頭兩個主要部件組成。磨床單元是系統的主力軍,能夠磨碎晶圓表面積多余的材料。該裝置采用金剛石砂輪,能夠去除超過0.001um的材料,以達到高精度的光潔度。通過定制電動機、優化的速度和進給速率以及主軸和驅動單元-研磨機單元通過觸摸面板進行控制,用戶可以對研磨輪的軌跡控制進行編程。研磨拋光頭是該單元的第二臂,設計用於在每個晶片上施加收尾時達到更高的精度。該單元配有研磨板,允許用戶應用研磨劑來創建超光滑的表面。研磨劑由金剛石化合物、磨料和潤滑劑組成,能夠去除十分之一微米,以達到鏡面狀表面。研磨板在高度調節的壓力下旋轉,而拋光頭施加拋光劑以達到所需的光潔度。拋光頭由觸摸面板控制,具有可編程參數和條件,允許受控拋光過程。EBARA F-REX300S2晶圓研磨、研磨和拋光機是實現晶圓研磨和拋光高度精確的工具。它的功率和精度相結合,能夠生產出符合最高標準的晶片,而它的定制電動機和可調速度導致了卓越的重復性。利用計算機控制下的研磨機、研磨板和拋光頭,該機能夠在精密研磨、研磨和拋光方面取得最佳效果。
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