二手 EBARA Frex 300S2 #9351475 待售

EBARA Frex 300S2
ID: 9351475
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
CMP System, 12" 2009 vintage.
EBARA Frex 300S2是專門為晶圓和薄膜的精密超聲波加工而設計的晶圓研磨、研磨和拋光設備。適用於包括太陽能電池、薄膜晶體管、薄膜集成電路、光學半導體等先進晶片型器件在內的廣泛晶片應用。該系統具有高精度直線電動機級,用於高速、高精度石英陶瓷研磨、研磨和拋光。該電機驅動單元可實現廣泛的主軸轉速,包括兩個連續轉速和六步轉速。此外,該機還包括步進電機和操縱桿,以實現主軸轉速的完全自動化。EBARA F-REX300S2提供了優化的研磨/研磨解決方案,包括封閉的無塵工作區、可調節的研磨輪和流速選擇器以及多線電極主軸。該刀具具有高精度的直線電動機級,具有最大的重復性和低力進料磨削機構,可實現精確一致的結果。此外,資產還提供了對操作參數(如主軸速度、進給速率、車輪角度和傾斜角)的可編程控制。FREX-300 S2還包括用於主軸精確運動的先進空氣軸承導引模型和用於減小設備振動的隔振設計。此外,系統還配備了LED指示燈,以顯示研磨階段和研磨墊的狀態,以及剩余的完成時間。最後,該單元與各種磨料操作的研磨研磨石材、粉末、碳拋光磨料墊和聚氨酯墊等一系列研磨研磨產品兼容。總體而言,EBARA FREX-300 S2是一種高度精確的晶圓研磨、研磨和拋光機,旨在滿足廣泛的需求。它具有優化的研磨研磨解決方案、最高重復性的高精度直線電動機級、精確一致的低力進料研磨機構以及對操作參數的可編程控制。此外,其封閉的無塵工作區、可調節的砂輪和流速選擇器,以及先進的空氣軸承導向工具,有助於確保薄膜和晶圓基器件生產的最高精度。
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