二手 FUJI Go #9190426 待售

FUJI Go是一種晶圓研磨、研磨和拋光設備，可同時容納多達八個晶圓。它利用架空機械臂移動晶片，可以在安裝在普通主軸上的四個不同的研磨和拋光盤上進行加工。該系統能夠研磨和拋光各種厚度的晶片，以及研磨不同摻雜濃度和材料的晶片。研磨和研磨圓盤由高耐磨材料制成，可確保晶片在磨削過程中具有高度的表面粗糙度。有一個真空固定選項，它允許晶片在研磨和拋光過程中牢固地固定在適當的位置。警報裝置有助於在處理過程中監視晶片。該機具有內置的研磨和拋光程序，可以為每個研磨和拋光周期輸入各種參數。這些參數包括磨削和拋光輪的速度、要施加的力量、每個循環所需的時間量以及循環次數。該程序還存儲來自以前會話的信息,允許以最少的用戶輸入執行重復過程。該工具在較高的加工溫度下運行，這有助於減少正在加工的晶片的氧化。集成的冷卻設備可防止研磨和研磨光盤過熱,並有助於確保整個批次的均勻處理。該模型還帶有磨削和研磨工具的自動銳化功能,使它們能夠在整個生命周期中保持性能。該設備可與其他晶片制備系統集成，如自旋沖洗和幹蝕刻系統，為加工晶片提供全自動解決方案。Go晶片研磨、研磨、拋光系統是快速、準確地制造各種應用半導體晶片的可靠、經濟高效的解決方案。它易於操作,具有一致的處理質量和可重復性,是半導體制造的理想選擇。