二手 MIROKU MLS-600-4 #9120453 待售

MIROKU MLS-600-4是一種晶片研磨、研磨和拋光設備,其設計目的是確保在精加工晶片時獲得一致、高質量的結果。該自動化系統具有多種磨削和拋光工具,包括便於晶片處理的機械臂,並且能夠處理直徑不超過6英寸的單面和雙面晶片。9軸DSP控制器可確保精確的移動,並具有出色的可重復性。MLS-600-4使用兩個原位網格晶片卡盤進行安全高效的晶片處理,由步進電機和滾珠螺釘驅動。兩臺無刷直流電動機在單個模塊中提供200 rpm的最高轉速。它還帶有一個圖形用戶界面和一個自動晶圓映射單元，允許快速晶圓加載和過程設置。研磨拋光過程由MIRO-C1000微機控制。該MIRO-C1000基於實時運動控制算法，具有電機加熱器控制機和一系列研磨拋光功能。該工具還支持廣泛的研磨和拋光主軸和頭部，以及研磨和拋光磨料的選擇。MIROKU MLS-600-4設計精確度和一致性,粉塵水平低,碳粉塵水平低。其晶片清潔度低於1ng/cm2,確保了可靠的晶片整理結果。該資產還設計用於安全，具有一系列安全功能，包括手持遙控器、過度旅行警報和用於緊急停車的安全開關。MLS-600-4非常適合各種晶圓精加工工藝，包括研磨、研磨和拋光。它可靠易用，精度和重復性保證了晶圓精加工的高質量效果。