二手 ROBERT HAGEMANN Class 100 #293662487 待售

ROBERT HAGEMANN 100級晶圓研磨研磨拋光設備設計用於半導體工業的研發應用。該系統結合了矽晶片的精密拋光，以實現測量精度和可重復性。它利用直驅馬達驅動研磨/研磨/拋光柱塞，方便精確的晶圓運動和修飾操作。電源為單相230 VAC TO 120 VAC,功率為60Hz,因此該設備適用於潔凈室和實驗室環境。這臺機器具有堅固的設計，由高質量的材料和部件構成。外觀采用不銹鋼建造，可長期使用和保護。頂部包含精密接地板,這些板能夠以毫米精度進行晶圓處理。操作員面板包含觸摸屏和液晶屏,用於實時反饋精密過程。人工控制的用戶界面允許輸入與機器的三個進程相關的首選項。可以調整設置以適應不同的晶圓類型並保持深度目標。它還具有內部控制臺,用戶可以在其中監視各種參數,包括壓力、溫度、速度和磨料尺寸。磨削過程從低速濕磨和接觸磨料開始。這個過程消除了晶圓表面的缺陷和不規則性。之後,晶片被移動並壓在研磨壓板上。對於研磨，將磨料灑在壓板上，並消除磨削過程中產生的輕微的不規則性和微毛刺。最後，拋光工藝消除了剩余的縱向，橫向，並通過暴露於磨料和空氣在高和一致的速度進出表面劃痕。最後，當達到所需表面光潔度時，再仔細檢查晶圓，並記錄計量數據。100級晶片研磨、研磨和拋光工具配備了所有必要的工具和技術,用戶可以在矽晶片上達到最先進的精細光潔度,從而提高設備性能。是半導體行業研發單位、系列生產、協作項目的理想選擇。