二手 WILSON / ROCKWELL 6838 #9293081 待售

WILSON/ROCWELL 6838是一種高性能、多任務的晶片研磨、研磨和拋光設備,旨在實現高效的單級和多級晶片處理。這種多功能設備非常適合復雜的互連和其他薄晶圓應用。WILSON 6838系統由兩個主要組件組成：研磨/拋光卡盤和旋轉索引表。卡盤是一個獨立的氣動加載裝置，它安裝在一個萬向架攜帶DUST-TIGHT®晶圓懸掛環。這種卡盤采用獨特的空氣加載單元，在晶片上保持恒定的張力，確保晶片的整個表面積得到完整的處理。卡盤具有可變頻率驅動器（VFD）,可實現高達3000的rpm控制。它還具有自動項圈功能和用於晶圓傳輸的集成真空機。旋轉索引表最多可容納8個獨立的晶片架，排列成一圈，每次操作遞增旋轉晶片，允許晶片兩側進行多次操作。它采用由精確定時資產驅動的步進電機工具進行精確的索引，以便所有處理步驟都能準確進行。該模型還包括一個最先進的晶圓懸掛設備，由高度和樞軸可調節的多級變速傳遞機器人和單臂鉸接機械臂組成，可以手動控制，也可以與計算機控制系統連接。這允許在拋光過程中高精度加載和處理晶片。ROCKWELL 6838單元的組件毫不費力地整合了尖端工程技術，允許精確且可重復的晶圓研磨、研磨和拋光操作。它為研發和小規模制造過程提供了最佳解決方案，使其成為半導體和其他行業人員的首選。其高效的晶圓處理解決方案減少了與手動操作相關的時間和成本。在精度方面，這臺機器提供了最小的表面粗糙度和令人印象深刻的基板均勻性。