二手 BROOKS AUTOMATION Fixload TM #9401143 待售

BROOKS AUTOMATION Fixload TM是一款晶圓和掩模洗滌器,旨在解決半導體晶圓和掩模物理缺陷的難題,從而提高芯片制造商的產量。這種創新的、具有成本效益的洗滌器具有多種特性和功能，能夠更有效地清潔，不會汙染晶片和口罩。這臺機器由一個高架、蜿蜒的環形交叉路口的擦洗甲板組成。甲板作為基板支架，回旋處是清洗和幹燥它們的車輛。這一有用的功能有助於減少接觸點的數量，這些接觸點可能會對基板造成汙染，從而延長清潔時間。主洗滌模塊包含兩個獨立的洗滌區域，設計用於同時消除基板表面兩側的物理缺陷。這有助於確保均勻的表面特性，並消除晶圓或掩模上任何可能的汙染物堆積。Fixload設備利用強大的湍流空氣射流，這些射流指向基板，可以調整到目標表面。洗滌過程得到了串聯粒子檢測系統的支持，該系統允許均勻和受控的洗滌。該裝置采用強大的激光和照相機，對缺陷進行掃描和分析，為制造商提供有關洗滌過程狀態的實時反饋。Fixload提供全自動晶片和掩模清潔過程,確保最高級別的清潔度和準確性。該機能夠處理多種不同類型的基板，從堆叠模具到薄膜再到多級FEOL和BEOL。它還能夠以無與倫比的性能和精度清洗100毫米和200毫米晶圓。總之,Fixload TM是一款功能強大且高度自動化的晶片和掩模洗滌器,它為消除半導體晶片和掩模上的物理缺陷提供了全面且經濟高效的解決方案。它提供卓越的性能、準確性和過程控制,同時提供全自動清潔過程,以保證更清潔的基板。BROOKS AUTOMATION Fixload TM具有處理各種晶片和掩碼的能力,對於希望減少不合格產品和提高利潤的芯片制造商來說,它是一個非常寶貴的工具。