二手 DISCO DCS 141 #293597232 待售

ID: 293597232
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141是一款晶圓和掩模洗滌器,旨在提高半導體行業的成本效益和生產率。這種裝置有效地去除半導體標線和化學機械平面化(CMP)墊片表面的缺陷、顆粒、氧化層和其他汙染物。它的清潔速度高達每小時2000個晶圓,提供高效的洗滌,對吞吐量的影響最小。DISCO DCS141晶片和掩模洗滌器是一種功能強大的工業級設備,專為熱、化學和機械工藝優化而設計。該機配有磨料墊頭和刷子,用於精確擦洗。其專利的「多向洗滌」設備確保了控制和均勻的材料吸收和去除。該裝置還具有準確的劑量、清潔和刷子選擇能力,能夠有效清除汙染,而不會對基板造成重大損害。DCS 141采用單步平面化工藝,以多種方式優化晶圓清洗。此過程從晶片中去除層層材料,從而實現更快、更可靠的CMP過程。這樣可以提高基材厚度和提高產量,降低成本和周期時間.此外,DCS141是一個可靠和堅固的機器,提供卓越的性能和一致可重復的結果.它使用一個集成的真空系統來捕獲和去除顆粒,用於清潔和無顆粒的過程。DISCO DCS 141的運行溫度也可以快速準確的調節,允許對基材材料性能進行追溯、控制和優化。創新、直觀的用戶界面使監控和控制過程變得容易。DISCO DCS141還具有流程數據記錄和單元診斷功能,使工程師能夠監控洗滌階段,並根據流程參數將機器設置為可靠運行。它還具有確保用戶安全工作的安全功能。總之,DCS 141晶片和掩模洗滌器是一種功能強大、經濟高效的工具,旨在提高半導體制造的生產率。它具有精密洗滌和精確劑量等多種特點,可提高工藝性能和無汙染基板。該機適合多種清潔應用,是領先半導體制造商的絕佳選擇。
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