二手 DISCO DCS 141 #293597233 待售

ID: 293597233
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 141是一種最先進的晶片和掩模洗滌器,可以清洗各種晶片和光掩模。它設計用於對直徑不超過6英寸的晶片和口罩進行高效、高質量的擦洗。DISCO DCS141旨在為晶片和口罩提供快速、可重復和準確的清潔,同時具有統一和選擇性的清潔功能。DCS 141具有強大的平臺設計,具有高精度工程設計和定制組件,即使在苛刻的生產環境中也能確保最佳和可靠的運行。洗滌器由一個主洗滌器單元、晶圓/掩模臺、提升和對準單元以及一個控制器系統組成。洗滌器由用戶友好的觸摸面板界面控制,允許用戶定制洗滌器速度、氣體壓力和清潔時間等參數,以最適合應用程序的要求。洗滌器配有兩級過濾系統和完全集成的洗滌工藝,可實現最高質量和均勻的清洗。在洗滌過程中,將離子化的氮和特別配制的洗滌劑噴灑到晶片或面膜上,從而可以擦洗晶片/面膜的所有表面,包括不受潛在汙染的關鍵接觸點。此外,DCS141還采用了創新的洗滌運動設計,消除了不必要的機械磨損,並確保了可重復的性能。DISCO DCS 141洗滌器的設計是為各種光刻面膜如鉻、無鉻和鉻矽提供極為精確的清潔。它還采用了高度可靠和低維護的熱風幹燥技術,在運輸前有效地幹燥光掩模,以滿足光刻的關鍵要求。為確保可操作性和減少停機時間,DISCO DCS141設計為易於重新配置,以滿足半導體和電子行業不斷變化的應用需求。洗滌器還具有用戶友好、易於使用的軟件控件,並提供操作報告以跟蹤和記錄洗滌器的過程。總體而言,DCS 141是高精度、可靠擦洗晶片和光掩模的理想解決方案。它提供卓越的性能、靈活的配置和可靠的操作,以滿足最困難的洗滌需求。
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