二手 JAS 191 TM #9401541 待售

製造商
JAS
模型
191 TM
ID: 9401541
優質的: 2016
Wafer cleaner 2016 vintage.
JAS 191 TM是設計用於電子和半導體制造的晶圓和掩模洗滌器。該系統能夠自動擦洗平面並清潔晶片框架和掩模的外部。它使用DI水進行清潔,能夠同時進行多次磨砂。該單元的容量為每個循環24個基板,旨在保持低顆粒水平和清潔至亞微米水平。該機采用耐腐蝕不銹鋼結構,采用不銹鋼板覆蓋,以減少架空汙染。殼體設有可移動門,可選流罩再循環,可調節導軌調節磨砂循環高度,調節DI水壓和洗滌運動的可調流閥。191 TM在直觀、用戶友好的觸摸屏界面上運行。控制系統允許用戶快速設置和調整磨砂周期的時間、壓力和運動,以滿足特定的要求。洗滌器還提供了一個自動循環優化功能,可以調整洗滌器循環,以達到最佳效果。JAS 191 TM使用旋轉刷洗操作來有效清潔晶圓幀和蒙版。清潔溶液由低壓泵輸送,並從基板表面疏松汙染。旋轉的刷子遵循掩模或晶片的輪廓,以高度的精確度提供徹底的清潔。最後沖洗循環與DI水完成的過程,留下一個完美的清潔和幹燥的底物。該系統旨在滿足最高的行業標準,包括ESD兼容性和NEBS認證。它被設計為易於集成到現有的半導體或電子制造過程中。該機可以手動或自動模式操作,並易於調整以適應各種基板尺寸。191 TM在其設計中內置了多項安全功能,包括低壓安全開關、用於DI沖洗罐的溢出安全殼,以及為在該單元附近工作的人員提供清晰的防護罩。經CE認證,符合安全和排放標準。
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