二手 ASML PAS 5500 #9050378 待售

ASML PAS 5500是一款高性能的光學投影掃描儀，用於半導體工業生產先進的微電子器件。它是流行的PAS 5000系列的高端版本，為高級、高分辨率晶圓步進器量身定制。PAS 5500帶有一個內置的先進光源，能夠產生廣泛的曝光波長和精確、穩定的強度，以用於更高分辨率的應用。爆破投影機頭裝有三個獨立調節的源點（SP's）。這些功能允許改進聚焦功能,從而使最終產品的特征尺寸和形狀更加均勻。采用全場圖像掩碼裝置對準目標區域，快速移動到位，使晶圓放置更快、更準確。ASML PAS 5500采用高分辨率5英寸傳感器，允許精確操作。它設計為無維護,可以輕松升級以滿足市場上不斷增長的需求。PAS 5500具有出色的線寬控制、極低的模式失真和圖像噪聲。這使得它成為高端生產工藝的理想選擇。該系統還包括一個高精度的控制塊，其目的是確保晶圓的準確和可靠的曝光。它包含多個傳感器，用於測量光束的強度和標線的對準。此軟件還可以校正模式變化（CPV）,並校正晶圓制造過程中可能發生的任何級別錯誤。ASML PAS 5500是一種可靠的高性能晶圓步進器,可提供精確的對齊、高均勻性和出色的線寬控制。它非常適合要求苛刻的生產過程,並且易於適應新的要求,因此適合各種應用程序。