二手 NIKON NSR 1755 G7A #293610524 待售

ID: 293610524
晶圓大小: 6"
Stepper, 6" (5) Reticles NEST-3 FIA Changer.
NIKON NSR 1755 G7A是半導體工業中專為精密光刻加工而設計的半自動晶圓步進器。它是同類設備中最先進、最可靠的步進器之一,能夠成功處理分辨率低至0.26 μ m的高級設備層。NIKON NSR-1755G7A由4,500 W高功率ArF準分子激光光源驅動,即使在最高速度下也能產生出色的圖像質量和均勻性。它具有先進的光刻元件的集成設備,能夠處理各種類型的基材,包括切割和未切割晶片。μ NSR-1755以每小時86,000個模具的驚人設計速度和0.5 G7A m的擴展對準精度,非常適合高密度和高容量的制造操作。該機配備了NIKON矢量對齊器(NVA)和兩級系統,能夠優化多層圖樣對齊,達到最高產量。NVA使用深紫外線(DUV)激光顯微鏡在基板水平上快速精確的激光對準,允許精確檢測甚至最具挑戰性的對準和定位問題。該機器還具有內置的波前監視器,可幫助控制波前像差,從而在各種曝光設置中保持出色的成像效果。另外,NSR 1755 G7A還包括一個集成的抗蝕劑分散裝置和一個精確的微米噴嘴,可確保抗蝕劑均勻分散。這一特性確保了基板的適當塗層,同時防止了抗蝕劑的任何交叉汙染,使這臺機器非常精確和高效。NSR-1755G7A采用緊湊且易於維護的體系結構,是光刻加工中最具成本效益的解決方案之一。該機由一臺風冷聚光燈機組成,簡化了其設置和維護,其機身設計為無褪色聚碳酸酯表面,並帶有屏蔽,以保護操作員在工作時的安全。簡而言之,NIKON NSR-1755 G7A是一種半自動晶片步進器,能夠為分辨率低至0.26 μ m的先進器件層提供精確的光刻處理。該機配備了先進光刻元件的集成工具、4500 W高功率ArF準分子激光光源、用於抵抗色散的精確微米源噴嘴和NIKON矢量對準器,以確保圖案精確對準。它是一種高效、經濟高效的機器,是高密度、高容量光刻加工作業的理想選擇。
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