二手 NIKON NSR 2205 i10C #9100801 待售
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已售出
ID: 9100801
晶圓大小: 8"
Steppers, 8"
Reticle, 6"
Applications specifications:
Resolution: 0.45 µm
Expose source: i-Line (365 nm)
Reduction: x 5
Expose field: 21.2 x 25.2 mm, 20 x 20 mm
Alignment accuracy: 0.09 µm (3 Sigma)
CD Uniformity: Max-min <= 0.04 um
Lens distortion: +/- 0.05 um
Hardware configuration:
Lens type: 5iB3S
Realignment orientation: 3:00
Wafer loader type: Type 1
Wafer type: Notched
Reticle microscope compatibility: 21.2 / 22.0 mm
Cable length: 5.0 Meters
Pellicle particle detector (Pellicle only)
Variable numerical aperture: 0.50-0.57
Selected NA: 0.50
Reticle bar code reader
Decnet
AMS
Online (OCS): NIKON SECSI / SECSII
Wafer holder: Ceramic low contact type 1
FIA
LIA
Total overlay: Up to 20 NSR's
Test reticle: R2205HA Ver.6.56 (6"-22.00 mm)
Chip leveling
Extended library
Extended wafer carrier table
Inline: Left (Nikon standard layout)
Not included:
Particle detector
Wafer edge exposure system
Multi reticle changer
SHRINC 1
Performance analysis process (PAP)
Self-measurement program (SMP)
Low particle black ceramic wafer loader fixtures
Pre alignment 2
Detector.
NIKON NSR 2205 i10C是一種高度先進和緊湊的晶圓步進器。這種晶片步進器設計用於光刻生產半導體微處理器的高效、精確的對準。它具有全封閉的光學設備、高扭矩驅動系統和快速的掃描速率,所有這些都使它在指定的任務中效率很高。NIKON NSR-2205I10C提供了二維對齊方式以實現精確對齊。這包括一個從掩碼中捕獲圖像的圖像傳感器、一個高分辨率的低平面失真級(用於在最高掃描速度下進行平整和低不規則性),以及一個確保平滑和精確段旋轉的高輸入精度。晶焦平面提供廣闊的視野和優越的聚焦深度,以配合光刻環境,在掃描過程中保護晶片的脆弱圖樣。NSR 2205 i10C使用高扭矩驅動單元將晶片與高速和精度對齊。這是由無刷直接耦合電動機(BDM)和Slitless Stepper Motors(SSM)兩種電動機的組合提供的。BDM提供高位置分辨率和低振動的平滑運動,而SSM則提供高速和不間斷的位置控制。通過這兩個電動機的組合,NSR-2205I10C確保晶片的精確對準,即使在高掃描速率。NIKON NSR 2205 i10C還配備了一個微型和飛點激光對準機。這通過允許晶片位置的精細調整來提高對準精度。此工具能夠快速檢測和糾正任何錯誤的對齊方式,從而確保成功的平版印刷過程。NIKON NSR-2205I10C的設計目的是提供一種安全和經濟高效的方法,在光刻生產中對準和定位晶片。該資產旨在實現高達0.3 µm的對準精度,並且由於其高效的設計和精確的對準能力,它能夠支持在復雜的生產環境中提高吞吐量。
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