二手 ULTRATECH 1100W #131417 待售

ULTRATECH 1100W
製造商
ULTRATECH
模型
1100W
ID: 131417
晶圓大小: 6"
優質的: 1989
Wafer stepper, 6" Oblong chucks Fitted with small cross masks for better alignment accuracy is a 1:1 projection Lens quoted in the range of 0.9 to 1.25 depending on Numerical aperture, but for production 1.25 micron Operation and maintenance manuals Last software installation 2004 Powered up 1989 vintage.
ULTRATECH 1100W晶片步進器是半導體生產過程中用來在晶片上打印微觀結構的強大工具。利用基於光的掃描方法,它產生了一系列連續的打印特征,具有精確和可重復性。此步進器提供高精度和特征分辨率,並能夠快速高效地處理晶圓。該設備采用模塊化結構,由基座和可調節高度的導光裝置組成。它具有易於與激光瞄準系統對準的功能,並且可以將其10K-12K W/cm2編程強度範圍擴大到最大30K-35K W/cm2而無需任何附加附件。它以1.5 μ m的可重復性準確記錄特征起始位置和結束位置。步進器的設計采用了先進的運動引擎,以確保晶圓在任何時候的速度和精度,並且可以很容易地集成到所有的模具系統中。其設計、機械結構、控制單元滿足高精度、一致性能的要求。此外,步進器還配備了安全功能,例如過溫保護、過壓保護和自動檢測任何工藝故障。它具有先進的傳感技術,能夠自動檢測6 μ m的小特性,並具有多達16步旋轉的特性。該機還可與第三方晶片分選系統集成,方便晶片處理。1100W晶片步進器提供卓越的工藝控制、提高的產量和延長的產品壽命,使其成為半導體生產的理想選擇。它是半導體工業持續發展的重要工具。
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