二手 ULTRATECH 1500 MVS #9097721 待售

ULTRATECH 1500 MVS晶圓步進器是一種先進的下一代解決方案，用於先進的半硬體制造。1500 MVS利用獲得專利的可變狹縫掃描過程,稱為MVS（多路查看系統）技術,能夠提供可用晶圓步進器中最高的吞吐量。ULTRATECH 1500 MVS利用其MVS技術在一次曝光中對整個晶圓成像，同時精簡成像過程。通過將晶片曝光分成四個獨立的狹縫設計，該過程減少了光學錯位，消除了圖像縫合問題，並大幅減少了整個圖像失真。MVS還利用基板載波運動和角度狹縫掃描，這為任何晶圓步進器提供了最高的精度和速度。1500 MVS晶圓步進器還配備了用於簡單和復雜設備幾何形狀的自動晶圓映射系統,以及每個設備站點不斷變化的對齊標記陣列。此功能可確保實現準確的結果,同時保持對設備對齊的全面控制。ULTRATECH 1500 MVS還具有內置的高精度框架抓取器,可方便地觀察和分析圖像。這意味著,如有必要,可以立即采取糾正措施,快速解決與成像過程的任何差異。1500 MVS是一種極其用戶友好的晶圓步進器,它真正結合了半導體晶圓加工的所有最新進展。它具有創新的設計功能,可提供最高的吞吐量,同時仍能保持準確性和精確度。利用其內置的幀抓取器，用戶可以在獲取圖像時進行觀察和分析。這進一步增強了ULTRATECH 1500 MVS已經可靠的性能。