二手 FEI DA300 #9266820 待售
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ID: 9266820
晶圓大小: 12"
Dual beam Scanning Electron Microscope (SEM), 12"
Upgraded to SEM and FIB columns
Electron NG SEM SFEG column
Sidewinder (20nA) FIB column
XYZRT Stage has been replaced
OMNIPROBE 200
BROOKS Dual front end, 12"
STEM Detector
Capacitance probe
TEM Sample unloader unit
Chiller
Pre-vacuum pump
Manuals included.
FEI DA300是一種革命性的晶圓測試和計量設備，旨在滿足先進技術節點加工和產量管理的要求。由FEI公司開發，DA300是一個統一的計量平臺，在一個系統中結合了多種計量解決方案。這使用戶在從單個晶片解決方案擴展到大批量生產晶片探測方面具有最大的靈活性。FEI DA300單元為檢查和驗證輸入、輸入和輸出晶片和設備的性能提供了高吞吐量和不妥協的準確性。其先進的計量能力來自於FEI先進的光學檢測和各種表征解決方案的結合。光學檢查提供了表面、電氣和工藝相關測量的亞微米分辨率圖像，而各種表征解決方案提供了電阻和電容、泄漏電流和介電常數的完整表征。該機還具有高速、單模探測能力。優化了DA300平臺的尖端機械設計，減少了周期時間，增加了吞吐量，同時保持了探測力的嚴密控制，最大限度地減少了對設備性能的影響。創新的AutoFocus技術利用差分光學器件促進探頭的快速一致聚焦,從而大大縮短了總設置時間。為了實現快速、輕松的硬件和軟件控制,FEI DA300配備了自動機械臂。該機器人臂由計算機控制，提供快速靈活的運動，以及晶圓抓握和探測力控制。可使用可選的附加模塊，如SEM/FIB、Raman和高分辨率臨界尺寸測量（HR-CDM），進一步定制該工具。與FEI軟件套件的完全集成使DA300成為滿足完整計量需求的理想解決方案。FEI DA300提供卓越的性能和準確性,不會影響靈活性或壽命。其靈活的配置提供了最大的設計自由度,並能夠輕松適應不斷變化的產品需求。該平臺強大的設計和創新功能使資產能夠處理任何晶圓應用程序,從而確保可靠且可重復的結果。
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