二手 KLA / TENCOR 0266951-001AA #9401899 待售

ID: 9401899
優質的: 2012
System 2012 vintage.
KLA/TENCOR 0266951-001AA晶圓測試和計量設備是一個高度先進的系統,旨在提供納米級和更快的可重復、高精度的測量。該單元結合了一系列硬件、軟件和校準工具,以晶圓形式提供集成電路的詳細表面和外部材料分析。機器的硬件部分由一個可一次裝載多達五個晶片的活動晶片級、一個自動對準工具以及一個集成尺寸測量儀器(顯微鏡)和雙數碼攝像機組成。軟件部分包括圖像采集模塊、集成圖像分析模塊和自動報告生成器。自動對準資產包括一個真空拾取工具和一個電動樣品支架,可協同工作,以確保晶片和載入晶片級的任何其他物體的精確、可重復定位。顯微鏡使操作員能夠在極近距離檢查設備,分辨率高達40X,以了解表面缺陷和其他異常。雙數碼攝像機使操作員能夠查看高達1000X的圖像。圖像采集模塊獲取多種格式的圖像,包括單色、RGB、YUV和其他幾種格式,並允許操作員設置和調整增益、亮度和偏移值。圖像分析模塊測量設備尺寸、形狀和位置,並計算任何缺陷。自動報告生成器在與Excel兼容的報告中收集、匯總和編譯數據。KLA 0266951-001AA專為最嚴格的測量而設計,能夠測量到納米級,每個晶圓可達2000萬個或更多點,並且具有2西格瑪可重復性精度。該模型是對晶圓形式的IC和其他設備進行質量控制和分析的有力和可靠的工具,使其成為任何制造商或研究設施的寶貴資產。
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