二手 KLA / TENCOR 5100 #293619673 待售

KLA / TENCOR 5100
ID: 293619673
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 5100是一種下一代晶圓測試和計量設備,為各種晶圓基板提供全方位的計量和測試應用。該系統配備了300毫米負載的機器人單元,能夠快速、方便地裝卸晶片。該機還能夠處理200毫米至300毫米大小的晶圓,可以同時處理生產和研發應用。KLA 5100利用高級刀具控制,可實現高通量的高效操作。該工具旨在滿足大容量半導體制造商的需求,旨在提供先進的產量管理和優化。該資產能夠測試和測量晶片的各種物理、電氣、化學和機械性能,包括曲率、平坦度、應力和厚度等參數。該模型采用了X射線衍射、橢圓偏振和微粘度法等多種無損檢測技術。它還使用了包括原子力顯微鏡、電子束檢查和熱性質測量在內的一系列其他相對和絕對測試。TENCOR 5100配備了實時成像設備,可提供晶圓的全景測試覆蓋和高級圖像處理功能。該系統支持一維和二維模式識別。該設備還具有高分辨率的掃描頭和掃描室,使用戶能夠查看分辨率高達5倍的同一區域。該機器旨在利用自動化樣品定位、自動化樣品處理和自動觸覺反饋來提高吞吐量。這樣就可以快速測試晶片的快速周轉時間。該工具還為高級產量管理啟用了多應用程序測試。5100配備了一系列領先的軟件應用程序,可提供多平臺、多供應商的開發和測試功能。此功能允許用戶自定義自己的測試程序並快速分析結果。它還提供各種平臺測試數據的無縫集成。資產中使用的所有軟件應用程序都與現有硬件和客戶端系統兼容,從而確保了快速輕松的自定義。總體而言,KLA/TENCOR 5100是一種先進的晶圓測試和計量模型,為各種晶圓基板提供了一系列的測試和測量能力。它是需要快速準確去除缺陷的大容量半導體制造商的理想工具。該設備能夠進行高效的測試和數據分析,從而能夠快速報告測試結果。此外,它的高級軟件應用程序能夠輕松定制和與現有硬件和客戶端系統互操作性。
還沒有評論