二手 KLA / TENCOR 5100 #293630446 待售

ID: 293630446
Overlay measurement and inspection system Spares included.
KLA/TENCOR 5100是為高通量晶圓檢驗和計量而設計的晶圓測試和計量系統。其卓越的設計和功能可實現更快、更準確的數據收集和分析,同時減少周期時間、吞吐量和成本。KLA 5100利用先進的視覺、自動化和傳感技術快速檢查和分析晶圓表面。它使用各種成像技術,包括激光輔助掃描、偏振對比度顯微鏡、3D光學成像和光譜反射成像,來測量晶圓的特征和缺陷。TENCOR 5100具有全方位的高速晶片處理選項,包括自動晶片裝載機、卸載機、定向器和分類器。該系統支持多達8種特定用途的工具,並具有用於快速、準確陣列分析的高級數字互相關功能。5100提供快速、精確的計量測量,包括粒數、表面電荷、表面粗糙度、納米壓痕、晶圓映射和表面鍵合測試。它旨在快速識別和分類具有高重復性的關鍵缺陷和滑移。該系統的靈活性使用戶能夠進行各種可定義的操作,例如匹配、分析、排序和進行晶圓測試。KLA/TENCOR 5100的獨特功能包括自動過程控制、高級分析、數據收集、晶圓跟蹤和過程識別。它為工藝開發、表征和生產提供定性和定量數據。KLA 5100提供了一套全面的數據分析工具,用於快速準確地關聯晶圓上的缺陷位置。TENCOR 5100是半導體行業的一個寶貴工具。其先進的技術和用戶友好的界面使其成為高通量晶圓檢測和計量的可靠、經濟高效的解決方案。它提供了快速、準確的結果以及高水平的吞吐量和靈活性,同時還縮短了周期時間。
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